| 소자공정 연구실 | |||
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| 지도교수 | 김재정 | 홈페이지 | http://mipro.snu.ac.kr/ |
| 위치 | 302-907 | 전화번호 | 02-880-8863 |
| 연구내용 | 1999년도에 설립되어 지금까지 SCI 논문 64개, 국내외등록 특허 45개, 국내외 학회발표 102건 등의 연구 성과를 얻고 있다. 연구분야는 크게 두 가지로 나누어 지며 첫번째는 반도체 공정에 있어서 금속 배선 공정이고 두번째는 연료 전지 시스템 및 촉매 개발이다. 반도체 소자의 크기가 나노미터 단위로 작아짐에 따라 좁은 트렌치(trench) 및 비아 (via)에 금속을 채우는 공정이 중요해지고 있다. 본 연구실에서는 차세대 배선 물질인 구리를 전해도금 및 무전해도금을 통하여 트렌치와 비아에 채우고, 돌출된 부분을 화학적 기계적 구리 평탄화 과정을 통하여 제거하는 연구를 진행하고 있다. 또한 연료 전지 시스템 개발에 있어서는 실리콘 기술을 이용하여 마이크로 반응기 제작 기술을 보유하고 있으며, 연료 전지 촉매는 전기화학적 방법을 이용하여 제조하고 있다. | ||
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